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全自動雙腔半導(dǎo)體快速退火爐RTP
<p><span style="text-indent: 30px; text-wrap: wrap;">RTP-DTS-8全自動雙腔快速退火爐是在保護氣氛下的全自動立式快速退火系統(tǒng)，以紅外可見光加熱單片 Wafer或樣品，工藝時間短，控溫精度高，適用6寸8寸片快速熱退火制程。</span></p>
桌面型快速退火爐RTP,快速熱處理退火爐
<p><span style="text-indent: 30px; text-wrap: wrap;">RTP-Table-6桌面型快速退火爐是在保護氣氛下的桌面快速退火系統(tǒng)，以紅外鹵素?zé)艄芗訜?，精準控制升溫，保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性，適用6寸快速退火制程。</span></p>
半自動半導(dǎo)體快速退火爐RTP
<p><span style="font-family: ">RTP-SA-12半自動快速退火爐是在保護氣下的半自動立式快速退火系統(tǒng)，以紅外可見光加熱單片 Wafer 或樣品，工藝時間短，控溫精度高，適用 4-12 英寸片。</span></p>
在線片式真空等離子清洗機PT-RF-A-12
<p>在線片式真空等離子清洗機主要用于半導(dǎo)體行業(yè)引線框架表面清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。</p>
ICP干法等離子去膠機ST-6100
<p>反應(yīng)速度快，反應(yīng)時間短<br/></p><p><br/></p>
半導(dǎo)體晶圓筒式去膠機ST-3300
<p>處理過程溫度低，能在高氣壓下維持等離子體</p>
真空等離子鍍膜機
USC顯示屏干式超聲波除塵
<p>3μm塵粒97%的清除率，6μm塵粒98%的清除率<br/></p><p><br/></p>
SPA-2600大氣等離子清洗機
<p>適用于處理各種小面積、處理軌跡精度高、邊角部分多材料的表面清洗活化，搭配射流直噴槍頭<br/></p><p><br/></p>
SPA-2800大氣等離子清洗機
<p>適用于處理各種大面積、形狀較復(fù)雜材料的表面清洗活化，搭配旋轉(zhuǎn)槍頭<br/></p><p><br/></p>
SPA-3200大氣等離子清洗機
<p>搭配高效超低溫槍頭，處理溫度低于50度，等離子處理效果更明顯<br/></p><p><br/></p>
SPA-3600大氣等離子清洗機
<p>搭載進口品牌ARM芯片，擁有等離子功率智能判斷功能<br/></p><p><br/></p>
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