所屬分類：微波等離子清洗機(jī)
針對半導(dǎo)體芯片粘接前處理、塑封前處理、光刻膠去除、金屬鍵和前處理。
微波等離子清洗機(jī)，SPV-100MW是一種低壓微波等離子清洗系統(tǒng)，應(yīng)用于貼片、焊線、封裝等工藝前的表面預(yù)處理。自由運(yùn)動的電子產(chǎn)生Plasma進(jìn)入腔體所在的料盒進(jìn)行工藝清洗。通過對真空腔體壁上的窗口施加頻率為2.45GHz的微波可以產(chǎn)生大量的持續(xù)Plasma。腔體適用于不同尺寸的料盒。
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