所屬分類(lèi)：等離子去膠機(jī)
專(zhuān)為半導(dǎo)體封裝的Plasma整體解決方案
微波等離子去膠機(jī)是一款半導(dǎo)體專(zhuān)用低壓微波等離子去膠系統(tǒng)。通過(guò)對(duì)真空腔體壁上的窗口施加頻率為2.45GHz的微波，產(chǎn)生大量且持續(xù)的Plasma，進(jìn)入腔體對(duì)芯片進(jìn)行工藝清洗。適用于不同尺寸的料盒，可滿(mǎn)足不同需求，提供客制化解決方案。
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