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ICP干法等離子去膠機(jī)ST-6100

所屬分類:等離子去膠機(jī)

微波等離子去膠機(jī)反應(yīng)速度快,反應(yīng)時(shí)間短,處理過(guò)程溫度低


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ICP干法等離子去膠機(jī)適用于DESCUM(預(yù)前處理,去膠渣)、聚合物去除(PI、BCB、PBO)、離子注入后光阻去除等,腔體適用范圍8寸樣品(4-6寸兼容)。

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